經濟部產業發展署產業節能減碳資訊網

超越先進製程：成熟製程減碳中被忽略的機會

　　成熟製程應先依晶圓廠所在地與產品類型，辨識主要來自用電、製程氣體或材料的排放來源。針對既有成熟製程採取差異化策略，包括提高再生能源使用、強化製程氣體削減系統、提升設備效率 (OEE) 與良率等。同時，透過晶圓及晶粒層級的產品碳足跡 (PCF) 量化與透明化，找出高排放、高產量產品並優先改善。將永續管理融入成熟製程，可在維持供應穩定的同時，持續降低產業整體碳排放，並轉化為供應商的競爭優勢。

資料來源：https://www.techinsights.com/blog/beyond-leading-edge-overlooked-opportunity-mature-node-decarbonization

以上資訊由工研院綠能所(環安政策推動組環境與淨零研究室)協助提供。