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半導體潔淨室導入冷卻水餘熱回收技術 提升HVAC節能效率

　　韓國首爾科學技術大學的研究指出，冰水主機冷卻水中的未利用熱能導入外氣空調箱（OAC），取代原由天然氣鍋爐蒸汽提供的冬季加熱與加濕熱源。系統以封閉式餘熱回收方式重新配置冷卻水熱能，使外氣空調箱可直接利用回收熱源供應潔淨室所需新鮮空氣。實廠驗證結果顯示，同步監控外氣溫度、空氣溫濕度、風量與供應壓力，系統仍可穩定運轉，且無須啟用天然氣鍋爐，同時降低冷卻水塔風扇運轉需求。採用餘熱回收應用之後，暖通空調系統能源消耗可降低約16.8%，二氧化碳排放量減少約8.6%。此技術可有效提升能源利用效率、降低化石燃料使用，作為半導體廠節能減碳的重要方案。

資料來源：https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0196890426004474

以上資訊由工研院綠能所(環安政策推動組環境與淨零研究室)協助提供。