經濟部產業發展署產業節能減碳資訊網

台積電導入電子級二氧化碳再生技術 建立半導體供應鏈碳循環模式

　　台積電與雙氧水供應商合作，從上游製氫過程的含碳尾氣著手，於氫氣工廠增設專用回收管線與儲存設備，集中收集尾氣。回收氣體先經吸脫附程序去除殘留氫氣，再透過純化塔分離雜質並提升二氧化碳純度，製成符合半導體製程需求的電子級二氧化碳。為確保再生材料品質，台積電協助供應商建立批次品質保證（CoA）機制，並進行尾氣成分分析、純度檢測與純化參數調整。同時透過產線流程優化、槽車沖吹標準改善及現場稽核，降低運輸與製程中的雜質風險，形成完整的回收、純化與品質控管流程。

資料來源：https://esg.tsmc.com/en-US/articles/406

以上資訊由工研院綠能所(環安政策推動組環境與淨零研究室)協助提供。