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Air Liquide導入低碳氫氣與碳捕捉技術 提升半導體製程氣體供應低碳化

　　法國液空集團 (Air Liquide)於亞利桑那州建置大型超高純度製程氣體生產設施，並直接在客戶晶圓廠內設置氫氣生產與碳捕捉設備。系統將生產超高純度低碳氫氣，供晶圓製造、退火及表面氧化層去除等半導體製程使用。製氫過程搭配碳捕捉技術，於廠內直接回收產生的二氧化碳，並結合既有在地基礎設施進行整體供氣運作。捕捉後的二氧化碳將進一步液化與純化，再供應客戶的高純度氣體需求，形成製氫、碳捕捉、純化與廠內供氣的整合流程。

資料來源：https://www.airliquide.com/group/press-releases-news/2026-07-16/air-liquide-invests-over-160m-usd-us-supply-advanced-chips-manufacturing-arizona

以上資訊由工研院綠能所(環安政策推動組環境與淨零研究室)協助提供。